精細(xì)零件加工精度以納米，乃至終以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為方針時，超精細(xì)零件切削加工辦法已不能適應(yīng)，必要借助特種精細(xì)零件加工的辦法，即應(yīng)用化學(xué)能、電化學(xué)能、熱能或電能等，使這些能量逾越原子間的聯(lián)合能，然后去除工件外表的部分原子間的附著、聯(lián)合或晶格變形，以達到超精細(xì)加工的目的。

歸于這類加工的有機械化學(xué)拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等咱們把精細(xì)機械加工分為以下四個階段：

一、先面后孔對于箱體、支架和連桿等零件應(yīng)先加工平面后加工孔。這樣可以以平面定位加工孔，確保平面和孔的方位精度，而且對平面上的孔的加工帶來便利。

二、先加工基準(zhǔn)面零件在加工過程中，作為定位基準(zhǔn)的外表應(yīng)首先加工出來，以便盡快為后續(xù)工序的加工供給精基準(zhǔn)。稱為“基準(zhǔn)先行”。

三、光整加工主要外表的光整加工（如研磨、珩磨、精磨\滾壓加工等），應(yīng)放在工藝路線終階段進行，加工后的外表光潔度在Ra0.9um以上，細(xì)微的碰撞都會損壞外表，在日本、德國等國，在光整加工后，都要用絨布進行維護，不準(zhǔn)用手或其它物件直接觸摸工件，避免光整加工的外表，由于工序間的轉(zhuǎn)運和安裝而受到損害。

四、區(qū)分加工階段加工質(zhì)量要求高的外表，都區(qū)分加工階段，一般可分為粗加工、半精加工和精加工三個階段。主要是為了確保加工質(zhì)量；有利于合理運用設(shè)備；便于安排熱處理工序；以及便于時發(fā)現(xiàn)毛坯缺陷等。